SIMS-data
Data fra SIMS labben
Gruppe 1: data ligger her:http://www.fys.uio.no/studier/kurs/mef3100/sims/gruppe1
060427a - Massespektrum af "ukendt" pr?br>
060427b - Dybdeprofil (11B, 30Si2) af implanteret B pr?implanteret
dose: 9.7e12 B/cm-2. Kraterdybde: 0,494 ?m
060427c - Dybdeprofil (11B, 30Si2) af pr?101A (CVD dyrket Si med B
box-profil). Kraterdybde: 0,828 ?m
060427d - Dybdeprofil (11B, 30Si2) af pr?101A7 (0101A annealet ved
1000 C, 30 min). Kraterdybde: 1,079 ?m
Gruppe 2 - dataligger her: http://www.fys.uio.no/studier/kurs/mef3100/sims/gruppe2